Weißlichtinterferometer – GBS smartWLI
Das Weißlichtinterferometer dient dem Erstellen von topographischen Oberflächenaufnahmen. Das Bauteil wird mit Licht bestrahlt und über Interferenzeffekte des reflektierten Lichts der Abstand der Oberflächenpunkte zum Objektiv bestimmt. Das Messgerät kann unter anderem mit einem Objektiv 50-facher Vergrößerung ausgestattet werden, welches die Bauteiloberfläche in Messpunkten von 0,19 µm Abstand erfasst. Die dabei entstehenden Topographieaufnahmen besitzen eine Reproduzierbarkeit von < 7 nm. Mit der Software MountainsMap® werden die Messdaten verarbeitet und visualisiert. Das Weißlichtinterferometer wird am Fachgebiet unter anderem zur Erfassung strominduzierter Wälzlagerschäden verwendet und liefert so wichtige Erkenntnisse für die Klassifizierung und Vermeidung elektrischer Lagerschäden beispielsweise in der Elektromobilität.
| Technische Daten |
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| Max. Aufnahmetiefe: 5000 µm |
| Positionierbereich: 75 x 50 mm |
| Topographiereproduzierbarkeit: < 7 nm |
| 10x Objektiv mit 1,8 x 1,2 mm Bildfeld und 0,96 µm Punktabstand |
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50x Objektiv mit 0,37 x 0,23 mm Bildfeld und 0,19 µm Punktabstand |
